El compresor de helio puede conducir criopumps de diferentes tamaños, que se dividen en 8 pulgadas, 10 pulgadas y 16 pulgadas de acuerdo con el diámetro de la brida. Los compresores de helio también se pueden usar en criopumps de diferentes fabricantes. Para obtener más información sobre el compresor de helio, lea las siguientes palabras.