La recuperación y la purificación de helio es un campo con importantes perspectivas de aplicación. El helio es un gas raro importante con características como la inercia y la buena atracción. Se utiliza ampliamente en diversas industrias, como la investigación médica, científica, aeroespacial, etc. Sin embargo, el suministro de helio es limitado y los recursos globales están disminuyendo gradualmente, lo que hace que la recuperación y la purificación del helio sea particularmente importante.

La aplicación de compresores de helio1. Se utiliza principalmente en semiconductores, que sirve como gas protector para los sistemas de vacío de evaporación, pulverización e implantación de iones en el equipo de proceso front-end. Las reacciones químicas que ocurren durante el procesamiento de semiconductores generalmente se basan en gases o liquidación

En el sistema de recuperación y purificación de helio, el compresor es uno de los equipos muy importantes, y su selección debe diseñarse y ajustarse razonablemente en función de las propiedades y requisitos del helio para garantizar la calidad y la seguridad del helio. Aquí hay algunas sugerencias para elegir un compresor